សមាសធាតុអុបទិកក្នុងម៉ាស៊ីនលីតធូស

ការរចនាអុបទិកមានកម្មវិធីជាច្រើននៅក្នុងវាលអេឡិចត្រូនិច។ នៅក្នុងម៉ាស៊ីន pretolithoic មួយប្រព័ន្ធអុបទិកទទួលខុសត្រូវក្នុងការផ្តោតលើធ្នឹមពន្លឺដែលបញ្ចេញដោយប្រភពពន្លឺហើយបានដាក់វាទៅលើ Silicon Wafer ដើម្បីបង្ហាញលំនាំសៀគ្វី។ ដូច្នេះការរចនានិងការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃសមាសធាតុអុបទិកនៅក្នុងប្រព័ន្ធ photolithycroaph គឺជាមធ្យោបាយដ៏សំខាន់មួយក្នុងការធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវដំណើរការនៃម៉ាស៊ីន Poltolithoster ។ ខាងក្រោមនេះគឺជាសមាសធាតុអុបទិកមួយចំនួនដែលត្រូវបានប្រើក្នុងម៉ាស៊ីន PhotolithThog:

បបឈ្មោះ
11 គោលបំណងនៃការព្យាករណ៍គឺជាសមាសធាតុអុបទិកគន្លឹះក្នុងម៉ាស៊ីនលីចូសដែលជាធម្មតាមានកញ្ចក់នៃកែវភ្នែករួមទាំងកញ្ចក់ប៉ោងដែលមានកែវថតសង្ខេបនិងខ្ពង់រាប។
មុខងាររបស់វាគឺបង្រួមលំនាំសៀគ្វីនៅលើរបាំងហើយផ្តោតលើវាដែលមានម៉ាស៊ីនស្រោបដោយអ្នកថតរូប។
03 ភាពត្រឹមត្រូវនិងការអនុវត្តនៃគោលបំណងនៃការព្យាករណ៍មានឥទ្ធិពលសំរេចចិត្តលើគុណភាពបង្ហាញនិងរូបភាពគុណភាពនៃម៉ាស៊ីនលីចូស

កហ្ចក់ឆ្លុហ
01 កមប៉លត្រូវបានប្រើដើម្បីផ្លាស់ប្តូរទិសដៅនៃពន្លឺហើយដឹកនាំវាទៅទីតាំងត្រឹមត្រូវ។
02 នៅក្នុងម៉ាស៊ីនលីស៉ូធូមកញ្ចក់កញ្ចក់គឺមានសារៈសំខាន់ជាពិសេសពីព្រោះពន្លឺ EUV ងាយស្រូបយកដោយសំភារៈដូច្នេះកញ្ចក់ដែលមានឆ្លុះបញ្ចាំងខ្ពស់ត្រូវតែប្រើ។
03 ភាពត្រឹមត្រូវនៃផ្ទៃខាងលើនិងស្ថេរភាពនៃឧបករណ៍ឆ្លុះបញ្ចាំងក៏ជះឥទ្ធិពលយ៉ាងខ្លាំងទៅលើការសម្តែងរបស់ម៉ាស៊ីនលីចូម។

រុរ៉ូ
01 តម្រងត្រូវបានប្រើដើម្បីលុបពន្លឺរលករលកដែលមិនចង់បានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវភាពត្រឹមត្រូវនិងគុណភាពនៃដំណើរការផែទិត្យ។
02 ដោយជ្រើសរើសតម្រងដែលសមស្របវាអាចធានាបានថាមានតែពន្លឺនៃរលកជាក់លាក់មួយប៉ុណ្ណោះដែលចូលក្នុងម៉ាស៊ីនលីចូមដោយហេតុនេះធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវភាពត្រឹមត្រូវនិងស្ថេរភាពនៃដំណើរការលីច់។

Prisms និងសមាសធាតុផ្សេងទៀត
លើសពីនេះទៀតម៉ាស៊ីនលីចូសក៏អាចប្រើសមាសធាតុអុបទិកអុបទិកផ្សេងទៀតដូចជា Prism Polarizers ជាដើមដើម្បីឆ្លើយតបនឹងតម្រូវការ LithBography ជាក់លាក់។ ការជ្រើសរើសការរចនានិងការផលិតសមាសធាតុអុបទិកទាំងនេះត្រូវតែអនុវត្តតាមស្តង់ដារបច្ចេកទេសដែលពាក់ព័ន្ធយ៉ាងតឹងរឹងដើម្បីធានាបាននូវភាពជាក់លាក់និងប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់នៃម៉ាស៊ីនលីចូម។

សរុបសេចក្ដីមកការអនុវត្តន៍សមាសធាតុអុបទិកក្នុងវិស័យលីចូសដែលមានគោលបំណងធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវការសម្តែងនិងប្រសិទ្ធភាពផលិតកម្មរបស់ម៉ាស៊ីនលីច់អញ្ចឹងដោយហេតុនេះគាំទ្រដល់ការអភិវឌ្ឍឧស្សាហកម្មផលិតកម្មមីក្រូទស្សន៍។ ជាមួយនឹងការអភិវឌ្ឍជាបន្តបន្ទាប់នៃបច្ចេកវិទ្យាលីចូសិចការបង្កើនប្រសិទ្ធិភាពនិងការច្នៃប្រឌិតសមាសធាតុអុបទិកក៏នឹងផ្តល់នូវសក្តានុពលកាន់តែច្រើនសម្រាប់ការផលិតបន្ទះឈីបជំនាន់បន្ទាប់ផងដែរ។

សម្រាប់ការយល់ដឹងកាន់តែច្រើននិងដំបូន្មានអ្នកជំនាញសូមចូលមើលគេហទំព័ររបស់យើងនៅhttps://www.jiujonoptics.com/ដើម្បីស្វែងយល់បន្ថែមអំពីផលិតផលនិងដំណោះស្រាយរបស់យើង។