ការរចនាអុបទិកមានកម្មវិធីជាច្រើននៅក្នុងវិស័យ semiconductor ។ នៅក្នុងម៉ាស៊ីន photolithography ប្រព័ន្ធអុបទិកទទួលខុសត្រូវចំពោះការផ្តោតទៅលើពន្លឺដែលបញ្ចេញដោយប្រភពពន្លឺ ហើយបញ្ចាំងវាទៅលើស៊ីលីកុន wafer ដើម្បីបង្ហាញគំរូសៀគ្វី។ ដូច្នេះ ការរចនា និងបង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃសមាសធាតុអុបទិកនៅក្នុងប្រព័ន្ធ photolithography គឺជាមធ្យោបាយសំខាន់មួយដើម្បីកែលម្អដំណើរការរបស់ម៉ាស៊ីន photolithography ។ ខាងក្រោមនេះគឺជាសមាសធាតុអុបទិកមួយចំនួនដែលប្រើក្នុងម៉ាស៊ីន photolithography៖
គោលបំណងនៃការព្យាករណ៍
01 កម្មវត្ថុនៃការព្យាករគឺជាសមាសធាតុអុបទិកដ៏សំខាន់នៅក្នុងម៉ាស៊ីន lithography ដែលជាធម្មតាមានកញ្ចក់ស៊េរីជាច្រើនរួមមាន កញ្ចក់ប៉ោង កញ្ចក់ concave និង prisms ។
02 មុខងាររបស់វាគឺដើម្បីបង្រួញគំរូសៀគ្វីនៅលើម៉ាស ហើយផ្តោតវាទៅលើ wafer ដែលស្រោបដោយ photoresist ។
03 ភាពត្រឹមត្រូវ និងការអនុវត្តនៃកម្មវត្ថុនៃការព្យាករមានឥទ្ធិពលលើការសម្រេចចិត្ត និងគុណភាពរូបភាពរបស់ម៉ាស៊ីន lithography
កញ្ចក់
01 កញ្ចក់ត្រូវបានប្រើដើម្បីផ្លាស់ប្តូរទិសដៅនៃពន្លឺ និងដឹកនាំវាទៅទីតាំងត្រឹមត្រូវ។
02 នៅក្នុងម៉ាស៊ីន lithography EUV កញ្ចក់មានសារៈសំខាន់ជាពិសេសដោយសារតែពន្លឺ EUV ត្រូវបានស្រូបយកបានយ៉ាងងាយស្រួលដោយវត្ថុធាតុដើម ដូច្នេះកញ្ចក់ដែលមានការឆ្លុះបញ្ចាំងខ្ពស់ត្រូវតែប្រើ។
03 ភាពត្រឹមត្រូវនៃផ្ទៃ និងស្ថេរភាពនៃកញ្ចក់ឆ្លុះបញ្ចាំងក៏មានឥទ្ធិពលយ៉ាងខ្លាំងទៅលើដំណើរការរបស់ម៉ាស៊ីន lithography ។
តម្រង
01 តម្រងត្រូវបានប្រើដើម្បីលុបរលកពន្លឺដែលមិនចង់បាន ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវភាពត្រឹមត្រូវ និងគុណភាពនៃដំណើរការ photolithography ។
02 តាមរយៈការជ្រើសរើសតម្រងសមស្រប វាអាចត្រូវបានធានាថាមានតែពន្លឺនៃរលកពន្លឺជាក់លាក់មួយចូលទៅក្នុងម៉ាស៊ីន lithography ដោយហេតុនេះធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវភាពត្រឹមត្រូវ និងស្ថេរភាពនៃដំណើរការ lithography ។
ព្រីស និងសមាសធាតុផ្សេងៗទៀត
លើសពីនេះទៀត ម៉ាស៊ីន lithography ក៏អាចប្រើសមាសធាតុអុបទិកជំនួយផ្សេងទៀត ដូចជា ព្រីស ប៉ូឡារីស័រ ជាដើម ដើម្បីបំពេញតាមតម្រូវការជាក់លាក់នៃ lithography ។ ការជ្រើសរើស ការរចនា និងការផលិតសមាសធាតុអុបទិកទាំងនេះត្រូវតែអនុវត្តតាមស្តង់ដារ និងតម្រូវការបច្ចេកទេសពាក់ព័ន្ធយ៉ាងតឹងរ៉ឹង ដើម្បីធានាបាននូវភាពជាក់លាក់ និងប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់នៃម៉ាស៊ីន lithography ។
សរុបមក ការអនុវត្តសមាសធាតុអុបទិកក្នុងវិស័យម៉ាស៊ីន lithography មានគោលបំណងធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវដំណើរការ និងប្រសិទ្ធភាពផលិតកម្មរបស់ម៉ាស៊ីន lithography ដោយហេតុនេះគាំទ្រដល់ការអភិវឌ្ឍន៍ឧស្សាហកម្មផលិតមីក្រូអេឡិចត្រូនិច។ ជាមួយនឹងការអភិវឌ្ឍន៍ជាបន្តបន្ទាប់នៃបច្ចេកវិទ្យា lithography ការបង្កើនប្រសិទ្ធភាព និងការច្នៃប្រឌិតនៃសមាសធាតុអុបទិកក៏នឹងផ្តល់នូវសក្តានុពលកាន់តែច្រើនសម្រាប់ការផលិតបន្ទះឈីបជំនាន់ក្រោយផងដែរ។
សម្រាប់ការយល់ដឹងបន្ថែម និងដំបូន្មានអ្នកជំនាញ សូមចូលទៅកាន់គេហទំព័ររបស់យើងនៅhttps://www.jiujonoptics.com/ដើម្បីស្វែងយល់បន្ថែមអំពីផលិតផល និងដំណោះស្រាយរបស់យើង។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ០២-មករា-២០២៥
